ULVAC干式真空泵NRL180A卡死维修

爱发科NRL180A干式螺杆真空泵一般用于排出非活性气体（溅射镀膜、蒸气镀膜、热处

理、液晶注入等），排出非活性气体行业对泵的腐蚀性很大，大多数真空泵都是因为腐

蚀后转数慢，影响到生产效率，需要专业的厂家维修，东莞真空承接爱发科

NRL180A干式螺杆真空泵维修。

针对真空泵腐蚀的修复方法：

*清除表面氧化层，用丙酮将表面清洗干净。喷砂、打磨、涂防腐蚀涂层保护，专业

的安装方式完工。

爱发科NRL系列在低温领域下的均热化，除PVD工艺外，龙其适用于希望提高流量，缩

短非气时间的重要工艺腔体的排气。

爱发科真空泵NRL180A特点：

低噪音、低振动、*的耐腐蚀性。

标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀特殊表面处理，降低对府蚀性气体排气时泵

体内部的腐蚀程度。

随泵配送选购件：

可选购消音器、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器。

适用于行业：

活性气体（CVD/刻蚀等）

排出非活性气体（溅射镀膜、蒸气镀膜、热处理、液晶注入等）

用于产生粉尘工艺中的排气（Si单品炉等）

可用前级泵使用（涡轮式分子泵、机械罗茨泵的前级泵）

冷冻干燥等水蒸气排气。

真空泵维修流程安排：

*、初步了解真空泵现状

服务：如有需要，会在24小时内派出专业技术人员赶赴现场确认真空泵故障。

第二、确定真空泵故障原因

服务：真空泵确认了解故障原因后，拟定出具体维修方案与周期、甲乙双方签定协议

后，珠三角地区甲方安

排人员上门提泵，其他区域客户可以选择物理快递。

第三、真空泵拆开报价

服务：为了让客户更清晰的知道维修费用，会给出详细的维修清单及费用明细

第四、确认真空泵维修

服务：客户同意维修费用后开始维修，维修后所换配件全部还客户。

第五、真空泵维修完毕后试机，一般测试时间是24小时。

服务：确保维修过后达到的真空度和稳定性能，真空度达到出厂标准。

第六、配送真空泵上门安装调试

服务：在试机OK后24小时内，客户可当初验收真空泵，看试机运转效果。

第七、统一质保修六个月，定期回访、并提供免费技术支持。

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