首页 > 技术文章 > 无油干式真空泵的工作原理和应用

无油干式真空泵的工作原理和应用

点击次数:1079 更新日期:2023-06-29

无油干式真空泵的工作原理和应用
应用范围:
无油真空泵的应用是广泛的,主要有以下几个方面:
[1]低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
[2]半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀 性气体和研磨微粒;
[3]除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要 求;
[4]在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;
[5]用做一般无油清洁真空系统的前级 泵,以防止油污染。
工作原理:
      无油活塞式真空泵又名【干式机械泵】,意思是指泵能从大气压力下开始抽气,又能将被抽气体直接排到大气中去,泵腔内无油或其他工作介质,而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。目前,真空行业使用的大多数机械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质,在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大,原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题:一是泵的工作介质返流污染被抽容器,而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量,增加设备的维护成本。其次,由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质,使泵不能正常工作。