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日本爱发科干泵PDR-090CLN真空泵维修

简要描述:

日本爱发科干泵PDR-090CLN真空泵维修:爱发科PDR-090CLN干式多段式罗茨真空泵,用于分析仪器以及半导体生产和等离子清洗等洁净制程。此泵具有较高的耐腐蚀性能,高真度运行,由于具有优异的抗静态和动态内应力能力,所以泵能提供更强的安全性。

所属分类:日本爱发科

更新日期:2024-08-12

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日本爱发科干泵PDR-090CLN真空泵维修

爱发科PDR-090CLN干式多段式罗茨真空泵,用于分析仪器以及半导体生产和等离子清洗等洁净制

程。此泵具有较高的耐腐蚀性能,高真度运行,由于具有优异的抗静态和动态内应力能力,所以泵能

提供更强的安全性。

真空泵不良现象及原因分析

1、不良现象:真空泵运行过载报警。

2、原因分析:

经对真空泵进行拆解, 发现以下几个问题点:

不良现象 原因分析

(1)转子轴套部磨损:

因轴承磨损导致转子下限,轴套部位与端盖中间孔接触磨擦所致。

(2)泵内齿轮箱内积碳:

因泵轴承损坏,转子轴套与端盖中间磨擦导致高温,齿轮润滑油因高温氧化积碳。

(3)轴承磨损:

因轴承润滑脂失效,轴承干性旋转导致轴承滚珠在轴承内干磨。

(4)轴封磨损:

因轴承干磨磨出金属粉屑以及高温将轴封磨损。

(5)轴套磨损:

因高温运行,轴封密封部硬化,与轴套接触部位刚性磨擦将其轴套磨损。

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