干式真空泵的相关介绍,快来了解一下吧!
点击次数:632 更新日期:2022-03-26
干式真空泵主要在半导体行业、化学工业、薄膜产业得到应用与发展。国外的干泵市场正处于蒸蒸日上的阶段,如日本,半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵,而欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵,大大提高了产品的性能和质量。
为了满足不同应用领域和不同工况的要求,国外有螺杆式真空泵、多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、往复式活塞真空泵、涡旋式真空泵以及涡轮式无油真空泵等。干泵极限压力从10Pa~10-2Pa,抽速从20m3/h~500m3/h。通过对内表面温度的控制以满足新的防爆条例的要求。由于能够维持最小的内部温度,从而能控制泵送气体的冷凝和由于腐蚀可能造成的损坏效应;轻松的输送腐蚀性介质,安全的输送易燃易爆气体。
干式真空泵的特点:
1)清洁环保;
2)真空度高;
3)防腐设计;
4)可抽除可凝性气体及少量粉尘气体;
5)特殊轴封设计,杜绝被抽介质与润滑系统互相污染;
6)防过载设计;
7)运转平稳;
8)高标准配置;
9)附件配置齐全
10)优质健全的零配件供应。
干式真空泵是未来行业发展的趋势,现在应用的不广泛,除了价格高原因外,还有用户对该款真空泵的了解不全面,短期内未体验到给企业带来的经济效益,但是它所形成的无油真空,却产生了不少益处。